Chùa thường gọi là chùa Tây Phương, tọa lạc trên núi Tây Phương (xưa gọi là núi Câu Lậu) cao chừng 50m, thuộc xã Thạch Xá, huyện Thạch Thất, tỉnh Hà Tây. Chùa cách Hà Nội 37 km về hướng Tây. Chùa thuộc hệ phái Bắc tông.

Từ chân núi, leo lên 237 bậc lót đá ong thì đến tam quan chùa. Chùa có ba nếp nhà song song hình chữ “Tam” là bái đường, chánh điện và hậu cung. Mỗi nếp nhà có hai tầng mái kiểu chồng diêm, tám mái và tám góc là các đầu đao vươn lên cong vút với những hình hoa, lá, rồng, phụng. Mái lợp gồm hai lớp ngói: ngói lớp trên in nổi hình lá đề, ngói lớp dưới lót hình vuông, sơn năm màu. Tường xây bằng gạch Bát Tràng Bhikkhunig đỏ để trần, có những cửa sổ hình tròn mang ý nghĩa sắc – không. Các cột gỗ đều kê trên tảng đá xanh khắc hình cánh sen.

Chùa đã được trùng tu nhiều lần vào các thế kỷ XVII, XVIII. Năm 1632, chùa xây dựng thượng điện 3 gian và hậu cung cùng hành lang 20 gian. Khoảng những năm 1657 – 1682, Tây Đô Vương Trịnh Tạc cho xây lại chùa mới.

Đến năm 1794, dưới thời Tây Sơn, chùa được đại tu hoàn toàn, lấy tên là chùa Tây Phương.

Năm 1893, nhà sư Thích Thanh Ngọc trụ trì đã tổ chức trùng tu chùa, tạc tượng Quan Âm trăm tay, Thiện Tài, Long Nữ, Bát bộ Kim Cang, Thập bát La Hán...

Điện Phật được bài trí tôn nghiêm. Chùa có nhiều pho tượng là những tác phẩm điêu khắc xuất sắc của dân tộc ở các thế kỷ XVII, XVIII, XIX như: Tượng Tuyết Sơn, tượng Quan Âm Chuẩn Đề, tượng Bát bộ Kim Cang, tượng 16 vị Tổ sư v.v... Năm 1960, nhà thơ Huy Cận đến thăm chùa đã viết những câu thơ sống động và gợi cảm qua bài Các vị La hán chùa Tây Phương.

Chùa được đại trùng tu vào năm 1991. Tây Phương là ngôi chùa nổi tiếng về kiến trúc và điêu khắc bậc nhất ở Việt Nam. Hằng ngày, chùa đã đón tiếp hàng trăm Phật tử, du khách trong nước, nước ngoài đến tham quan, chiêm bái.

Chùa đã được Bộ Văn hóa – Thông tin công nhận là Di tích lịch sử – văn hóa quốc gia.